【摘要】 根据分光方式不同，X射线荧光光谱仪可分为波长色散和能量色散X射线荧光光谱仪两大类;根据激发方式又可细分为偏振光、同位素源、同步辐射和粒子激发X射线荧光光谱仪

根据分光方式不同，X射线荧光光谱仪可分为波长色散和能量色散X射线荧光光谱仪两大类;根据激发方式又可细分为偏振光、同位素源、同步辐射和粒子激发X射线荧光光谱仪；根据X射线的出射、入射角度还可分为全反射、掠出入射X射线荧光光谱仪等。

（1）波长色散X射线荧光光谱仪

波长色散X射线荧光光谱仪分为顺序式XRF和多道XRF。顺序式XRF获取全范围光谱信息的途径是通过顺序改变分光晶体的衍射角，这种方式灵活性较高，而多道XRF则采用固定道，其灵活性相对前者变弱，但其优势在于可同时获得多元素信息，快速简便。图1是采用平面分光晶体的顺序式X射线荧光光谱仪结构图，其中左图为弯晶分光，右图为平晶分光。安装X射线光管时需要注意应尽可能靠近样品，保证获得最大辐射强度。

 

图1 X射线荧光光谱仪的原理示意图：弯晶分光（左图），平晶分光（右图）

（2）能量色散X射线荧光光谱仪

能量色散X射线荧光光谱仪由X射线光管、样品室、准直器、探测器及计数电路和计算机组成，如图2所示。此外，亦可在样品前加一单色器，达到降低背景的目的，以改善能量色散X射线荧光光谱仪的检出限。它与波长色散X射线荧光谱仪的显著不同是没有分光晶体，而是直接用能量探测器来分辨特征谱线,达到定性和定量分析的目的。

 

图2 能量色散X射线荧光光谱仪原理示意图

 

[1] 罗立强，詹秀春，李国会， X射线荧光光谱仪 TH744.1

[2] 宋苏环等. "波长色散型X射线荧光光谱仪与能量色散型X射线荧光光谱仪的比较." 现代仪器使用与维修 4(1998):2.