XRF与ICP比较的差异

项 目

ICP

XRF

说 明

1. 分析方式及样品形态

化学分析法：

利用电浆激发液体样品， 产生放射光谱。

物理分析法：

利用 X射线激发样品产生 X-Ray能谱。

1.ICP 样品必须为液态，为破坏式检测。

2.XRF样品为固态、 液态或粉末皆可， 且为非破坏式检测方式。

2. 检测浓度范围

ppm～100%，约 70 种元素。

ppm～100%，约 70 种元素。

1.ICP 之元素检测下限较低 ( 灵敏度高 ) ，无法量测卤素，如氯 (Cl) 、溴(Br) 。

2. XRF之元素检测下限较高 (灵敏度低 )，可量测卤素 , 例如 RoHS中管制的 PBB、PBDE( 即溴的化合物 )

3. 样品分析时间

液体样品约 2 分钟。( 包含前处理时间 )

固、液、粉末，约为 5～10 分钟，无需前处理。

1.ICP 需要前处理步骤将固体样品经由强酸高温长时间 (2～12 小时 ) 或高压等消化步骤，变成液体样品。

2.XRF样品可直接量测，无需前处理。

4. 二次污染处理

(1) 需处理 ICP 的废气

(2) 需处理前处理所产生的酸气

(3) 需处理前处理所产生的强酸废液

无二次污染处理∶

X 光源辐射量极低，仪器本身有安全屏蔽，操作时无须任何特殊装置。

1.ICP 分析方法，会产生环境二次污染，为破坏式分析。

2.XRF 分析方法，上会产生环境二次污染，符合 ISO 14000 之精神，为非破坏式分析。

5. 人员要求

需专业化学师，人员训练，专业性较高，训练时间较长。同时因前处理有使用到强酸及高温处理，因此实验室需配置安全防护装置，且需符合劳工安全及环境废弃物处理之规范与相关费用之产生。

台湾地区操作者需至辐射防护协会受 18 小时讲习训练方可操作设备；在大陆地区则无此要求。

1.ICP 在设立化学实验室时， 原则上是需要有紧急安全计画，提报劳委会。

2.XRF之 X光源的能量低 ( 属微量 X光) ，列为登记类设备，只须至原委会登记，领有登记证後即可使用。

6. 仪器操作性

一般 ICP 在操作时，较易发生误判，需专业技术人员协助，尤以在定量时，元素波数判定上易产生误判。

有特殊的软硬体，将侦测下限，再现性做更准精的量测，如∶镉有标准品，可直接量测，侦测下限可达 1.7ppm。

ICP/ XRF 皆锁定 QA/QC市场，而软体操作，全部中文化 ( 繁/ 简) 。

7. 在分析塑料和

重金属分析的特性

(1) 为一般规范指定的分析仪器之一。

(2) 灵敏度高

(3) 须有专业的化学分析技术。

(4) 有环境二次污染物，须再处理。

(5) 耗材费较高。

(6) 分析时间较短，但若加上前处理时间，每个样品将超过数十分钟。

(1) 为 Panasonic、Dell 、Microsoft 、Mitsubish 、SONY等大厂作为内部品质控管之设备。

(2) 低浓度时灵敏度较低。 (Cd 的侦测下限小於1.7ppm)

(3) 耗材费用低， 受辐射防护协会训练 18 小时即可操作此仪器设备。

(5) 无环境二次污染, 符合 ISO 14000之精神每个样品分析时间约5～10 分钟。

(6) 无须另设其他周边设备。

(7) 建议作为进料检验及品管之用

(8) 建议作为出货常态分析之用

就分析仪器特性及国际规范要求， ICP 是目前最能被接受的分析仪器，但一般大厂仍只接受第三公证单位的报告。XRF已成为进料品管及制程中品质控制必备之塑料重金属快速检测