【摘要】 随着离子源方面的快速发展,飞行时间二次离子质谱在化工材料、微电子行业、生命科学、细胞分析等领域应用广泛。

随着离子源方面的快速发展,飞行时间二次离子质谱在化工材料、微电子行业、生命科学、细胞分析等领域应用广泛。

提供了TOF-SIMS 5 iontof ,PHI NanoTOFII两种型号的飞行时间二次离子质谱仪,可做质谱、面扫、深度剖析这三类测试项目。

同学们有测试需求时,需要注意以下几点送样要求:(1)深度剖析只能是块体样品,长宽1cm,厚度不超过5mm,不能太大,小一些没有问题;(2)粉末样品50mg即可,一般不做深度剖析,只能做质谱或者面扫,液体等粘性样品无法测试;(3)如果样品比较容易氧化或者吸水请提前联系测试负责人,需要真空封装好提前预约时间测试。样品在超高真空下必须稳定,无腐蚀性。(4)样品可以用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装,不要用有黏性的塑料袋/膜,或者粘胶,会有硅油在样品表面的,会遮盖样品表面的信息,TOF测试1-2nm的信息,对表面测试非常灵敏,非正确的包装可能会导致样品表面被污染。

对于测试结果,TOF-SIMS的数据的纵坐标是计数,是强度,不同离子的产额不同,产额高的谱峰强,并不代表含量高,简单说就是强度和含量没有什么直接关系;下面针对其不同的测试项目简单举几个例子。

 

1、质谱+分析

 

图1

 

质谱测试:只给出校正后的图片,常规离子列表只分析10个客户指定的离子,超出10个按数据处理收费。

质谱+数据处理:会给出校正后的图片和所有的离子谱峰归属列表。

 

2、面扫+分析

 

图2

 

导出客户指定离子的 MAPPING, 所有离子统一用Thermal 颜色:右边的色标可以看出黑色是分布没有的区域,黄色白色是分布较多的区域;

 

3、深度剖析+数据分析

仪器型号1:TOF-SIMS 5 iontof--快递交替模式--深度剖析

 

图3

 

深度曲线-相对应的3D图

仪器型号2:PHI Nanotof

 

图4

 

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