TOF-SIMS（二次离子飞行时间质谱仪）

质谱、面扫、深度剖析。

sims的数据的纵坐标是计数，是强度，不同离子的产额不同，产额高的谱峰强，并不代表含量高，简单说就是强度和含量没有什么直接关系；

1、质谱

2、面扫

3、TOF-SIMS 5 iontof--快递交替模式--深度剖析

深度曲线-相对应的3D图

4. PHI Nanotof

深度剖析只能是块体样品，长宽1cm，厚度不超过5mm；

粉末只能做质谱或者面扫，液体等粘性样品无法测试。