【摘要】 TOF-SIMS是高空间分辨和高探测灵敏度的成分分析系统

在做TOF-SIMS测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对此项目不太了解，针对此，科学指南针检测平台组织相关同事对TOF-SIMS测试进行问题收集并整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

1.老师说的是高分辨高灵敏度表面分析系统吗？

回复：TOF-SIMS是高空间分辨和高探测灵敏度的成分分析系统；

 

2.3D重构图是我们自己分析画出吗？

回复：专用软件对数据处理；

 

3.请问数据分析要使用特定的软件吗？

回复：是专用软件；质谱图可以导出用EXCEL打开的格式；

 

4.单颗粒面积太小深度剖析会不会荷电很差，导致结果不准？

回复：看材料荷电效应，单颗粒尺寸大小；

 

5.能不能定量测呢，包括成分？

回复：需要标准样品可以定量分析；

 

6.FIB与SIMS联用，边缘效应怎么处理呢？

回复：FIB加工后的断面，在SIMS分析前需要用离子源再清洁后再测试；

 

7.分析深度能达到多少？

回复：表面是小于2nm, 结合溅射离子源可以到微米深度；

 

8.老师了解这个皮肤断面怎么切又能没有杂质，看着这个杂质很少

回复：采用冷冻显微薄片切片机在冷冻条件下制备截面样品

 

9.高聚物表面的亲水基团的伸展方向和深度能测么？

回复：通过团簇离子源深度剖析的方法可以试试；

 

10.矿物浮选剂方面做的多不？

回复：可以

 

11.深度剖面横坐标时间与深度如何转换？

回复：首先获得溅射速率，通过溅射速率可以把时间转换成深度；（软件和EXCEL都可以实现）

 

12.深度剖面横坐标有的是帧数，可否转换成深度？

回复：同上的回复

 

13.能分析的最小厚度是多少呀？

回复：深度剖析最小可以分析1个纳米的厚度；

 

14.老师，我测了无机物的深度剖析，界面上本来，成分不该有变化，但是也有一个起跳咋回事？

回复：第一看仪器测试条件的稳定性如何？（total ion/ 以及其它特征离子是不是都有回跳？如果都有回跳，可能是测试条件不稳定）， 如果只是特别元素回跳而其它离子比较正常，那很可能是真实的界面扩散；还有就是基体效应的影响；总之还是要看实际情况而定；

 

15.由于经费受限，金属截面机械抛光后进行TOFSIMS测量，可以吗？

回复：污染干扰太多，这样制样可以测，但数据太杂；

 

16.生物或植物组织石蜡包埋切断面会影响结果吗？

回复：可以测，但测之前最好用团簇离子源剥离表面再测比较好；

 

17.Si负极固态电解质膜做Depth profile?

回复：真空兼容性好的，都可以测试；

 

18.麻烦再问老师一下AuS2如何确认呢，有硫的话会有各种硫成分？

回复：分别采集正负离子图谱，Au在正负离子模式下都有明显的产额，伴随Aux 团簇离子；S、SOx主要在负离子模式下产额高，S/SO/SO2/SO3这些离子都会出现，AuxSy 或AuxSOy这种离子也会出现；

 

19.组织如果不冷冻如何固定在硅片上？

回复：需要冷冻或干燥态

 

20.hitachi的FIB-tof-sims，这个设备怎么样呢？

回复：FIB+TOF的这种系统，成像很好（空间分辨率高），但质量分辨不如专用的TOF-SIMS；适合无机材料，不适用有机高分子材料成分剖析（大分子离子产额低，质量分辨率差）。

 

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