【摘要】 绝缘材料是在允许电压下不导电的材料，但不是绝对不导电的材料，在一定外加电场强度作用下，也会发生导电、极化、损耗、击穿等过程，而长期使用还会发生老化。

绝缘材料是在允许电压下不导电的材料，但不是绝对不导电的材料，在一定外加电场强度作用下，也会发生导电、极化、损耗、击穿等过程，而长期使用还会发生老化。绝缘材料又称电介质，是指在直流电压作用下，不导电或导电极微的物质。绝缘材料的主要作用是在电气设备中将不同电位的带电导体隔离开来，使电流能按一定的路径流通，还可起机械支撑和固定，以及灭弧、散热、储能、防潮、防霉或改善电场的电位分布和保护导体的作用。因此，要求绝缘材料有尽可能高的绝缘电阻、耐热性、耐潮性，还需要一定的机械强度。针对聚焦离子束在绝缘材料表面直写微纳图形时因电荷积聚原因导致加工效果差的情况，将单晶硅湿法各向异性腐蚀工艺应用于单晶硅片表面制备倒金字塔形通孔，作为微窗硅基盖板覆盖于绝缘衬底表面。聚焦离子束扫描电镜显示当聚焦离子束穿过通孔在非导电衬底表面进行溅射刻蚀时，微窗硅基盖板的导电特性可提高溅射出的带电粒子的迁移率，降低电荷积聚-放电的频率，从而有助于聚焦离子束在绝缘衬底表面进行微纳加工。试验在具备高分辨率扫描电子显微镜成像和聚焦离子束微纳加工功能的双束系统中进行。

 

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