用途及功能：

1. 定点剖面形貌和成分表征 

2. TEM样品制备 

3. 微纳结构加工 

4.  芯片线路修改

5.切片式三维重构

6.材料转移 

7.三维原子探针样品制备

适用领域：

结构分析、材料表征、芯片修补、生物检测、三维重构、材料转移等，该系统可适用于横截面和断层扫描，3D分析，TEM样品制备及纳米图形加工；

1、无磁性、无挥发性，固体、块体尺寸最好小于80mm（快速进样最大尺寸）

2、样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理