聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)
仪器负责人

王老师
400-831-0631

预约须知

样品要求:

1无磁性、无挥发性固体块体尺寸最好小于20mm

2样品要求导电性良好,如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。


预约仪器
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)
测试项目:

用途及功能:

1. 定点剖面形貌和成分表征 

2. TEM样品制备 

3. 微纳结构加工 

4.  芯片线路修改

5.切片式三维重构

6.材料转移 

7.三维原子探针样品制备

适用领域

结构分析、材料表征、芯片修补、生物检测、三维重构、材料转移等,该系统可适用于横截面和断层扫描,3D分析,TEM样品制备及纳米图形加工;


样品要求:

1无磁性、无挥发性,固体、块体尺寸最好小于80mm(快速进样最大尺寸)

2样品要求导电性良好,如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理


常见问题及回答:
结果展示:

1、图案加工

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2、TEM样品制备

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3、定点剖面分析

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4、三维重构

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