扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（scanning electron microscope ，SEM ）是一种结合透射电子显微镜和光学显微镜的一种特殊的观察手段，如图一所示。其通过聚焦的很窄的高能电子束扫描样品，此间光束会与物

图一扫描电子显微镜

质之间产生相互作用，能够激发被扫描物品的各种物理信息。对这些物理信息进行收集、放大、然后再形成图像以达到对物质微观形象的表征。扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子枪种类可分为三种:场发射电子枪、钨丝枪和六硼化镧 ^[1]  。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。此外, 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合, 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析^[2] 。 目前, 扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究, 仅在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等^[3]。

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[2]于丽芳,杨志军,周永章,赵文霞,李红中,古志宏.扫描电镜和环境扫描电镜在地学领域的应用综述[J].中山大学研究生学刊(自然科学、医学版)  

[3] 凌妍,钟娇丽,唐晓山,李栋宇.扫描电子显微镜的工作原理及应用[J].山东化工  

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