【摘要】 扫描电镜SEM制样方法大汇总

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对SEM测试制样方法不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

1.样品要求

固体，无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定

 

 

2.常用方法

一般分块状样品、粉末样品和截面样品制备三类

 

1、块状样品

 

低倍率观察（＜5万倍）-- 导电胶带

高倍率观察（＞5万倍）-- 液体导电胶

 

 

2、粉末样品

 

可以直接固定在导电胶带或者液体导电胶上，见图

注意：如果是导电胶带，揭下来的剥离纸一定要倒着放，撒完样品后在用剥离纸干净的面压一下，固定的才回牢

 

如果是液体导电胶，最好是用水溶性的，不容易和样品发生反应，撒样品的时间点控制在导电胶快干的时候撒，才能使样品达到半浸没状态。

 

 

也可以用分散法：

 

 

3、截面样品

 

如果是硅片或者是玻璃，需要用到玻璃刀，见图

注意：用玻璃刀划的时候要让开观察的面，也就是说可以上面和下面各划一下，然后再掰就可以了

 

根据不同样品材质，有的时候是正面掰好，有的时候是从背面掰好。

 

 

本文内容整理自仪器信息网论坛、科袖网、材料人、新兴百瑞及中镜科仪网站