【摘要】 科学指南针可为您提供扫描电子显微镜(SEM)服务,扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段,是一种大型分析仪器, 它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。

在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对sem测试不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

 

加速电压是扫描电镜技术领域的一个重要术语。加速电压的范围为0.2~30KV,一般高压指用20KV,低压指小于10KV 。

 

加速电压的选用,取决于样品的质量(包括导电性)、图像质量的要求和倍率等情况。当样品导电性好时,可选用高加速电压,这时电子束能量大,激发的二次电子、背散射电子数量就多,有利于改善图像的分辨率、信噪比和反差,对高倍观察有利。但加速电压过高会产生不利因素,我们一般选择20kV的加速电压。当样品导电性差时,又不便喷碳、喷金,还要尽可能将样品原来的面貌保存下来,取得高质量的扫描照片。而这类样品容易产生充、放电效应,样品充电区的微小电位差会造成电子束散开,使束斑扩大,从而损害分辨率。邻近点的负电场又会使二次电子的轨迹产生偏离,从而降低清晰度。同时,表面负电场对入射电子产生排斥作用,改变了电子的入射角,从而使图像不稳定,产生移动、错位,甚至使表面细节根本无法呈现,加速电压越高这种现象越严重,此时选用低加速电压(<10kV),减少充、放电现象,提高分辨率。

 

加速电压选择

 

普通扫描电镜加速电压一般为0.5—30kv(通常用10-20 kV左右)。应根据样品的性质、图像要求和观察倍率等来选择加速电压。

 

对于:

1.金相试样、断口试样等尽可能用高的加速电压。

 

2.如果观察的样品是凹凸的表面或深孔,为了减小入射电子探针的贯穿和散射体积,采用较低的加速电压可改善 图像的清晰度。

 

3.对于容易发生充电的非导体试样或容易烧伤的生物试样,也应该采用低的加速电压。

 

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