【摘要】 光圈衍射像差(Aperture diffraction):电子束通过小光圈时，电子束会产生衍射现象，该现象就是造成像差的元凶，此时需要根据电子束的直径，更换为合适的大光圈即可以改善。

1. 散光像是什么?如何矫正?

散光像差是因为透镜磁场不对称而产生的像差，不对称的磁场能够使电子束落在不同点上从而造成影像的偏差，散光像差一般用散光像差补偿器(stigmator)产生与散光像差大小相同、方向相反的像差校正。散光像差补偿器一般安装在电子显微镜的聚光镜及物镜上。

2. 光圈衍射像差是什么?如何矫正?

光圈衍射像差(Aperture diffraction):电子束通过小光圈时，电子束会产生衍射现象，该现象就是造成像差的元凶，此时需要根据电子束的直径，更换为合适的大光圈即可以改善。

3. 色散像差是什么?如何矫正?

色散像差(Chromatic aberration):因通过透镜电子束能量差异，使得电子束聚焦后并不在同一点上，不容易通过物理手段矫正。

4. 电子束如何与样品产生作用?

电子束和样品的作用有两类，即弹性碰撞和非弹性碰撞，入射电子束会将部份能量传给样品，而产生二次电子、背向散射电子、俄歇电子、X光、长波电磁放射、电子-空穴对等。这些信号可被捕捉、放大，然后根据这些信号， SEM的运用者即可通过计算机“描摹”出物质的微观结构。

5. 二次电子是什么意思?

二次电子(Secondary Electrons)：电子束和样品作用之后，有些传导能带(conduction band)的电子会被击出，其能量约 < 50eV此即为二次电子。由于二次电子产生的数量，会根据样品表面褶皱的状况而发生变化，因此二次电子影像可以观察出样品表面的形貌特征。

 

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