【摘要】 而选择合适的加速电压对于不同性质的样品是非常重要的，生物样品、聚合物以及其他有机样品对于高能量的电子都非常敏感。

扫描电子显微镜受到的加速电压的影响：

加速电压对于背散射衍射成像和二次电子成像的影响是类似的：样品的表面能够在低加速电压的情况下能够多到更多的细节，在高加速的电压下，图像的分辨率提高，但是由于穿透小型，样品表面的细节减少，反而有利于忽略样品表面的一些细小污染物。如此在底加速电压下，样品表面污染物清晰可见，而高加速电压的图像表面污染物“减少”。

而选择合适的加速电压对于不同性质的样品是非常重要的，生物样品、聚合物以及其他有机样品对于高能量的电子都非常敏感。而且，由于电子扫描显微镜是在真空中运作，这种敏感性还会进一步增强。这就是现阶段仍然在致力于开发低电压下成像技术的原因，这样的话即使是对电子束能量非常敏感的样品也可以得到比较好的图像。

在这个阶段的过程中，主要会遇到的困难是成像技术背后的物理原理：与摄影相似，存在几种可能的因素会影响最终输出的图像的质量，比如畸变和像差。随着电压的升高，所获得的信号量也变多，色差所造成的影响就逐渐减小，这也是扫描电镜的趋势是利用尽可能高的电压以提高成像分辨率的主要原因。

 

作用区域的大受加速电压的影响：

扫描电子显微镜的加速电压时电子能量的象征，它决定了电子束与样品之间的相互区大小，一般情况下，加速电压越高，电子束在样品表面穿透越深，作用区间就越大。

这意味着电子将在样品中更深入的传播，并在不同区域中产生信号。作用区间的大小也受样品的化学成分影响，轻元素的核外电子层数比较少，电子能量较低，这限制了其对于入射电子的影响。因此，与重元素的样品相比，电子束对于轻元素样品的穿透更深。

 

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