【摘要】 零椭偏仪是最简单的椭偏仪之一，它能够在适当的校准下进行非常精确的测量。

最古老的椭圆偏器类型是零椭圆偏器，零椭偏仪的光源通常是小型激光器，但也可以使用其他单色光源。PSG是一个偏振器-减速器对，而PSA是一个线性偏振器，历来称为分析仪。如果四分之一波板相对于入射平面的方向为45°，则入射到探测器上的光束的强度由公式可以计算得出

 

 

其中，θp和θa分别为偏振器和分析仪的方位角，N、S和C为eqns中给出的量。在eqn 中给出的强度在两组角度上有一个零值：（2θp，θa）=（270°-Δ，Ψ），（90°-Δ，180°-Ψ）。因此，通过旋转PSG偏振器和PSA偏振器（分析仪），直到到达探测器的光强最小。角度Ψ和Δ由PSG和PSA偏振器的方位角确定。

 

零椭偏仪是最简单的椭偏仪之一，它能够在适当的校准下进行非常精确的测量。然而，它通常使用单波长源，它不容易制作光谱。此外，测量时间很慢，所以这种类型的仪器对光谱椭偏仪或快速时间分辨测量无效。

 

最常见的商用生产的光谱椭偏仪类型是旋转补偿器椭偏仪，PSG通常由一个线性偏振器和一个旋转补偿器组成。PSA是一个固定的线性偏振器（分析仪）。另一种配置是将旋转补偿器放置在PSA中的样品之后。在任何一种配置中，物理旋转的补偿器使探测器上的光强度成为时间的周期函数。当将旋转补偿器放置在样品前时，动态椭圆偏振光入射到样品上。光的特定偏振状态（线性、椭圆、圆形）是由补偿器快轴和慢轴的方向和补偿器（直流）的延迟决定。

 

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