【摘要】 国外研究和生产光学液体颗粒计数器的企业主要集中在美国、英国、德国和日本等发达国家，市场占有率较高的企业有PMS、HACH、RION、PAMAS、Beckman Coulter等。

国外研究和生产光学液体颗粒计数器的企业主要集中在美国、英国、德国和日本等发达国家，市场占有率较高的企业有PMS、HACH、RION、PAMAS、Beckman Coulter等。在国外产品中，光阻法的液体颗粒计数器能够测量高粘度、高浓度的油液，也可运用于检测强腐蚀性的强酸与强碱，但国内目前的光阻法产品只能用于检测弱腐蚀性、中低粘度的液体，限制了颗粒计数器在某些领域的应用。国外光散射法的液体颗粒计数器占据了国内的主要市场，已知在半导体行业的超纯水检测领域，光散射法液体颗粒计数器能够检测的最小颗粒粒径为20nm，已经达到纳米级别。虽然国内大学与企业已经对光散射法的原理进行了理论研究，但由于传感器部件的光学结构复杂，机械加工、信号处理难度大，装配要求高，该产品的开发一度陷入困境。国内目前只有江苏苏净集团能够生产光散射液体颗粒计数器，能够检测液体中亚微米级的颗粒，已经被应用在过滤制造、电子制造及电子级化学品制造行业。

 

随着我国科学技术的不断发展以及对于制造业的重视加强，更加精密、更加准确的检测仪器才能促进产品标准和质量提升，提升我国产品的竞争力。随着一些国际和国内标准的变化，可以看出液体颗粒计数器已经被越来越多的行业认可，而且不断提出严格要求，如采样方式、检测浓度、粒径分辨率、计数准确度等等。特别是半导体行业，随着刻蚀技术的发展，2011 年国际半导体技术蓝图（ITRS）要求受控制的颗粒污染尺寸是20nm 甚至更小，这也对液体颗粒计数器提出了新的挑战。我国液体颗粒计数技术起步较晚、技术薄弱，还需要加大投入，缩小国内外差距。

 

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