【摘要】 TEM样品的最终减薄,以获得电子束透明的观察区域。

在制备透射电子显微镜(TEM测试)薄膜样品时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,大多数同学没有太好的处理薄膜样品的方法,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

 

离子减薄

 

目的:TEM样品的最终减薄,以获得电子束透明的观察区域。

 

特点:不受材料电性能的影响,即不管材料是否导电,金属或非金属或者二者混合物,不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。制样时惰性气体介质(氩气)对样品组织结构无影响。

 

原理:在电场作用下氩气被电离成带Ar+的氩离子,带着一定能量的氩离子从阳极飞向阴极,通过阴极孔,打在接地的样品表面,使样品表面溅射。

 

注意事项:减薄开始阶段,一般采用较高电压,较大束流,较大角度,这个阶段约占整个减薄过程的一半时间,随后,电压,束流,角度可相应减小,直到样品出孔,样品出孔后,即可转入样品抛光阶段,这阶段主要是改善样品质量,使薄膜获得平坦而宽大的薄区。

 

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