【摘要】 透射电镜TEM制样方法大汇总

在做透射电子显微镜(TEM测试)时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,大多数同学对TEM测试制样方法不是很清楚,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

 

1.样品要求

 

1.样品被观察区对入射电子必须是“透明”的。电子穿透样品的能力与其本身能量及样品所含元素的原子序数有关。一般透射电镜样品的厚度在100nm以下。对于高分辨电镜样品,厚度必须小于10nm。

 

2.样品必须牢固。以便能经受电子束的轰击,并防止装卸过程中的机械振动而损坏。对于易碎的块状样品,必须将其粘在铜网上,铜网对样品起着加固作用。对于粉末样品,可设法将其分散在附有支持膜(如火棉胶膜、微栅膜、超薄炭膜)的铜网上,铜网及火棉胶膜对粉末样品起支撑、承载和黏附作用。生物样品则必须先固定、硬化,然后切成超薄切片,再置于覆有支持膜的载网上。

 

3.样品必须具有导电性。对于非导电样品,应在表面喷一层很薄炭膜,以防止电荷积累而影响观察。

 

4.防止样品被污染。在制样过程中,样品的超微结构必须得到完好的保存。应严格防止样品被污染和样品结构及性质的改变(如相变、氧化等)。

 

2.载网与支持膜的选用

 

载网通常是一种多孔的金属片,对样品起加固和支撑作用。载网可以用Cu、Ni、Mo、Al、W、Au及尼龙等材料制作,但通常使用Cu制作,故统称铜网。它有许多不同的规格,可根据样品的性质选择使用。大多数透射电镜样品在制样时,为了确保样品能搭载在“载网”上,会在“载网”上覆一层有机膜,称为“支持膜”。这种具有支持膜的载网,称为“载网支持膜”。

 

 

支持膜为一层非晶质的薄膜,厚约20nm。它在电子束照射下应该是“透明的”,本身并无任何结构,且与样品不会发生反应。

 

下面具体介绍支持膜的分类:

 

1、无孔碳支持膜系列

碳支持膜是在方华膜(也可用火棉胶)上再覆盖一层碳,是最常见并被广泛采用的支持膜。当样品放在电镜中观察时,“载网支持膜”在电子束照射下,会产生电荷积累,引起样品放电,从而发生样品飘移、跳动、支持膜破裂等情况。所以,在支持膜上喷碳,提高支持膜的导电性,达到良好的观察效果。一般膜厚度为7-10nm。 碳支持膜是以有机层为主,膜层较薄,背底一般影响很小。通常用水或乙醇分散样品,支持膜均不会受腐蚀。

 

 

如果您的样品属于磁性粉末样品可以使用两种方法:

1.树脂包埋,超薄切片;2.可以使用双联网碳支持膜。

 

双联网碳支持膜

 

2、纯碳支持膜系列

纯碳支持膜是在碳支持膜的基础上,将有机层用特殊方法去除后得到的纯碳膜,很适合需要在有机溶剂或高温下处理的样品(如:氯仿、四氢呋喃等有机溶剂下使用)。适合观察10nm以上的样品。膜总厚度:20~40nm。

 

 

超薄碳支持膜是在微栅的基础上,叠加了一层很薄的碳膜,一般为3-5nm。这层超薄碳膜的目的,是用薄碳膜把微孔挡住。这主要是针对那些分散性很好的纳米材料,如:10nm以下的样品,分散性极好,如果用微栅就有可能从微孔中漏出,如果在微栅孔边缘,由于膜厚可能会影响观察。所以,用超薄碳膜,就会得到很好的效果。

 

 

3、有孔(微栅)支持膜系列

在制作支持膜时,特意在膜上制作的微孔,所以也叫“微栅支持膜”,它也是经过喷碳的支持膜,一般膜厚度为15-20nm。它主要是为了能够使样品搭载在支持膜微孔的边缘,以便使样品“无膜”观察。无膜的目的主要是为了提高图像衬度。所以,观察管状、棒状、纳米团聚物等,常用“微栅”支持膜,效果很好。特别是观察这些样品的高分辨像时,更是最佳的选择。

 

 

4、非碳材料支持膜系列

纯方华膜:方华支持膜的化学成分是聚乙烯醇缩甲醛,可溶于二氯乙烷或三氯甲烷溶液,所形成的膜,强度高,透过率好。由于无碳方华膜是纯的有机膜,上面没有任何镀层物质,所以膜的弹性好,背底影响小,可支持多种样品观察。是承载超薄切片的理想材料,在观察纳米粉末等材料时,也表现的非常出色。但方华膜因导电性能不好,在电子束照射下,会因高温或电荷积累,引起局部受热碳化,产生局部黑斑,样品漂移,甚至使膜破碎,损伤被观察样品。通常在100kv电镜上使用较多。膜厚度通常为10-15nm。推荐选用200目载网。

 

 

镀金支持膜:是在一层有机方华膜上再覆盖一层金膜,便于EDS检测。膜厚度:10~20nm。推荐选用200目载网。

 

氮化硅薄膜窗格:可承受1000°C以上的高温。弹性较好,适用于各种样品制备技术,在电子束轰击下比较稳定,衬度及亲水性较碳膜稍差。

 

 

3.如何区别载网正反面

比较靠谱的方法是通过对比载网边缘与中间区域亮度,碳膜的一面被视为正面

正面:载网边缘与中间区域亮度相同

反面:载网边缘的亮度高于中间区域

 

 

4.样品制备

请参考之前这一篇TEM样品制备的文章

高分辨透射电镜(HRTEM)样品怎么制?看这一篇就够了

 

本文内容整理自仪器信息网论坛、科袖网、材料人、新兴百瑞及中镜科仪网站