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      膜厚测试

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      膜厚测试涉及前期的制样方法,一般一句不同的样品类型和膜厚选择不同的制样方法,其中包括机械研磨、CP制样、液氮脆断、FIB制样、X-SECTION,主要测试膜厚的手段为SEM/TEM/椭偏仪/XPS刻蚀

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