【摘要】 PHI 5000 VersaprobeIII主要特征和功能：微聚焦的扫描X射线束可应对从微区到大面积的分析需求；高可靠全自动分析能力，可实现无人值守式队列分析；微区成像和图谱采集，可同时高效对多个微区进行对比分析；溅射深度剖析，可分析膜层结构和成分深度变化；多种技术联用的超高真空分析腔室，可扩展UPS、IPES、AES、C60、GCIB等多种技术。

在做 X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其测试仪器还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

常见仪器

 

1 Thermo ESCALAB 250XI

 

对于ESCALAB 250Xi小面积电子能谱仪的展示如图1， ESCALAB 250Xi装有单色化X射线源，双晶体即微聚焦单色器安在500 mm的罗兰圆上，采用Al阳极，可选择200 µm 至 900 µm间任意大小的束斑。微聚焦单色器的优势如下：

（1）小面积XPS测量不损失能谱仪的灵敏度，可节省分析时间；

（2） 只有样品的被分析部分被X射线辐照，因此远离样品的区域避遭损伤；

（3）在角分辨XPS测量时，入射X射线束斑始终在分析区域内。

 

图1 Thermo ESCALAB 250XI仪器图

 

2 PHI5000 VersaProbeIII

 

PHI 5000 VersaprobeIII (VP-III) 设备展示如图2，能提供高性能的微区光谱，化学成像，二次电子成像，其小的X射线束光栅扫描直径约为10微米。X射线束的大小可以轻易的使用电脑控制在直径10微米到400微米设定，从而达到好的空间解释度与高的灵敏度。

 

PHI 5000 VersaprobeIII主要特征和功能：微聚焦的扫描X射线束可应对从微区到大面积的分析需求；高可靠全自动分析能力，可实现无人值守式队列分析；微区成像和图谱采集，可同时高效对多个微区进行对比分析；溅射深度剖析，可分析膜层结构和成分深度变化；多种技术联用的超高真空分析腔室，可扩展UPS、IPES、AES、C60、GCIB等多种技术。

图2 PHI5000 Versa Probe III仪器图

 

3 Thermo Fisher Scientific K-Alpha

 

Thermo Fisher Scientific K-Alpha的设备展示如图3，其主要特征和功能：AlKαX射线 单色器可用于化学态高分辨分析；微聚焦X射线探针可用于绝缘材料的分析；先进的光学观察系统可用于对中样品上微小结构和污染点分析位置；聚焦深度剖析离子源可用于单层和多层膜分析；一键式中和系统可用于精确的小面积分析；128通道探测器用于快速并行快照式采集数据。

 

图3 Thermo Fisher Scientific K-Alpha仪器图

 

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