【摘要】 科学指南针可为您提供扫描电子显微镜(SEM)服务,扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段,是一种大型分析仪器, 它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。

在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对sem测试不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

 

大规模集成电路板上的沟槽深、线宽、圆直径、正方形、长方形边长等的测量;粉体(尤其是纳米)颗粒粒度测量、标准粒子微球的粒度定值;复合材料(如固体推进剂)中某种颗粒组份粒度分布测量、样品表面孔隙率测定等…,都可以使用图像处理、分析功能,有自动和手动。现在的EDS中都有该软件包供选择,用SEM测量测定粉体颗粒粒度是准确、方便和实用的。测量的粒度范围可以从几十纳米到几个毫米,是任何专用粒度仪所无法胜任的。尤其当分析样品的粒度小于3um(例如:超细银粉、碳粉、钴蓝、Fe2O3、SiO2等)时,超细颗粒极易聚集、团聚、在水中特别难于分散的特性,传统的湿法粒度分析(例如:Coulter计数法、激光散射法、动态光子相关法就无法得到真实的粒度结果。而扫描电镜粒度分析法(简称SEM法)却不受这些限制,比较灵活,完全能适应这些特殊样品的粒度分析,同时它属于绝对粒度测量法。为克服SEM粒度分析法所存在的测定样品量太少、结果缺乏代表性的缺点,在实际操作时,要多制备些观察试样,多采集些照片,多测量些颗粒(300个以上)。超细粉体样品一般制备在铜柱表面上,希望颗粒单层均匀分散、彼此不粘连。这样,在不同倍数下得到照片,便于图象处理和分析功能自动完成;否则,就要手工测量每个颗粒的粒度,然后进行统计处理。

 

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