XPS应用范围

在做 X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

XPS测试主要做什么？

由于XPS 的分析深度小于10 nm，可定性半定量分析固体材料表面成分信息（包括元素组成、化学态等），通过X射线可以进行选区分析从而表征成分的分布情况（最小采谱区域可小于10 ）；所以XPS可被广泛应用于分析合金、矿物、半导体、高分子聚合物，催化剂、硅酸盐陶瓷、生物医药、能源材料等。

XPS可以应对从大面积到微区的分析需求，既可以表征表面成分，表面多层薄膜等，又可以对环境颗粒物、表面缺陷（腐蚀，异物，污染，分布不均等）进行微区定位分析，因此对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。

1） 固体物理学：键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附、迁移与扩散；

2）基础化学：元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学；

3）催化科学：元素组成、活性、表面反应、催化剂中毒；

4）腐蚀科学：吸附、分凝、气体—表面反应、氧化、钝化；

5）材料科学：是研究各种镀层、涂层、包覆层和表面处理层 （钝化层、保护层等）的最有效手段，广泛应用于金属、高分子、复合材料等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析；

6）微电子技术：电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响；

7）薄膜研究：如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等， 研究膜层结构、层间扩散，离子注入等。

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