【摘要】 近年来，基于参考光谱的自动化XPS光谱分析方法得到了发展，参考光谱数据库的建立有望进一步提高XPS分析的吞吐量。

光谱测量对于理解材料的电子态和晶体结构是有用的。特别是，x射线光电子能谱(XPS)是一种分析技术，可以方便地评估材料表面的化学键状态。广泛应用于工业产品开发和质量控制。分析人员经常将包含多相的未知样品的XPS光谱与测量的XPS参考光谱进行比较已知单相样品。近年来，基于参考光谱的自动化XPS光谱分析方法得到了发展，参考光谱数据库的建立有望进一步提高XPS分析的吞吐量。然而，考虑到XPS光谱的峰位置、相对强度和半宽度的差异很大，需要一种评估所有XPS光谱并推荐更好的XPS光谱的方法测量设备、样品预处理和测量条件。Murakami等人[1]对XPS光谱进行了循环测试(RRT)，以推荐标准化的XPS参考光谱和测量条件，包括样品预处理。RRT是一种评价方法，将同一批次的样品送到多个检测实验室进行测量，以评价所使用的特定测量设备和测量条件对测量数据的影响。在典型的RRT标准化中，仔细选择标本和测量条件，以减少预期结果的可变性。可以通过讨论普通样品的光谱精细结构的细微差异，特别是通过分析使用普通样品的循环测试(RRT)数据。通过这次RRT分析，可以了解到该方法适用于分析实际材料，如半导体和绝缘体，这些材料的表面层会根据测量条件而变化通过以氧化锰(MnO)粉末为试样。分析发现，Mn2p XPS光谱中存在小的卫星峰，这可能与MnO粉末在XPS测量前的研磨过程有关。这些峰表明MnO粉末样品中含有另一相作为杂质。因此，为获得XPS数据而测量的样品的质量有待提高。

[1] Murakami, R., et al., Correlation analysis with measurement conditions and peak structures in XPS spectral round-robin tests on MnO powder sample. Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 2023. 264: p. 147298.

 

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