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原位四探针测量系统
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项目简介
四探针测试仪通常由四个金属探针组成，这些探针可以以一字形排列，其中一个探针作为电流源，另一个探针作为电压测量电极，另外两个探针用于测量电流和电压。在测量过程中，将探针放置在半导体材料的表面，并施加电流。 然后，使用电压测量电极测量探针之间的电压降。 通过这些测量结果，可以计算出电阻率。
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结果展示
（1）200nm La膜
样品要求
1、样品要求：块体、薄膜，表面要平整；
2、尺寸大小要求：大于5mm*5mm；
常见问题
