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基本参数:
分辨率:1nm(15KV)
放大倍数:×25 - ×1,000,000
加速电压:0.1 - 30KV
EDS能谱分析
设备特点:
通过半浸没式(semi-in-lens)物镜进行高分辨率观察和分析
通过GB模式, 以能量极低的入射电子束观察样品的浅表面
高性能电子光学系统能进行快速、高精度的分析
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