1，样品要求：粉末样品提供10mg，样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。；块状/薄膜：一般长宽厚不超出5*5*3mm。样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等。
2，样品包装要求：样品制备好以后，尽可能进行真空密封，否则样品会吸附空气中的污染物，对表面测试会有影响。
AES测试表面谱图点扫；深度刻蚀;Mapping;线扫
样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等； 固态样品：片状、块状或粉末。 另外在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候， 对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。
建议：样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。
AES SEI成像+能谱图+元素定性半定量分析
AES俄歇成分成像 （MAPPING)
AES深度剖析曲线
