1,样品要求:粉末样品提供10mg,样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。;块状/薄膜:一般长宽厚不超出5*5*3mm。样品在超高真空下必须稳定,无腐蚀性,无磁性,无挥发性等。
2,样品包装要求:样品制备好以后,尽可能进行真空密封,否则样品会吸附空气中的污染物,对表面测试会有影响。
AES测试表面谱图点扫;深度刻蚀;Mapping;线扫
样品在超高真空下必须稳定,无腐蚀性,无磁性,无挥发性等; 固态样品:片状、块状或粉末。 另外在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候, 对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。
建议:样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。
AES SEI成像+能谱图+元素定性半定量分析
AES俄歇成分成像 (MAPPING)
AES深度剖析曲线