椭偏仪 仪器详情

      张老师

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      400-831-0631

      预约仪器

      预约须知

      1. 厚度测试范围是0.5nm-10um,测试光谱范围370-1000nm,有基底的膜层,基底厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下,如果是单层膜,没有基底的话,膜厚越厚越好,最好500um以上;

      2. 有基底的样品需提供一份空白基底方便拟合。

      椭偏仪
      测试项目:

      a. n(折射率),k(消光系数)值

      b. 膜厚

      常规椭偏仪的光谱测试范围370到1000nm,其他范围请咨询项目经理400-831-0631

      膜厚的测试范围是0.5nm-10um


      样品要求:

      1. 样品状态:材料一般为块状或薄膜,大小无特殊要求 

      2. 如果有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基地厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下如果是单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀,基底不需要透明。

      3.特殊情况需提前沟通。


      常见问题及回答:

      关于测试光谱范围的选择?

      椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如,掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响,因此需要能测量红外波段的椭偏仪;薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜,到达基底,然后并被探测器检测到,因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段;对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。

      结果展示:

      一般格式及数据处理如下说明(仅供参考,具体以实际测试为准,不同仪器会有差异):

      测试结果给出的是图片格式和txt格式测试结果。文本格式文件可以用EXCEL打开,Origin软件作图。

      图片8.png