【摘要】 扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，就是用非常狭窄的电子束来扫描样品，通过样品与电子束之间产生相互效应，其中主要是样品的二次电子发射。

表面分析是一种统称，指的是利用电子、光子、离子等于材料表面进行相互作用，在范围微米到纳米级以内测量从表面散射或发射出来的各种电子、光子、离子的质谱、能谱、光谱等，对材料表面的化学组成、结构和性质进行分析的一些技术。

 

扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，就是用非常狭窄的电子束来扫描样品，通过样品与电子束之间产生相互效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够获得样品表面放大的形貌图，获得的形貌图是样品被扫描时按照时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。扫描电子显微镜可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成和晶体结构等等。

 

X射线能谱仪（EDS）的工作原理主要是利用不同元素所激发的特征X射线能量的不同来对元素进行定性和定量分析。X射线能谱仪进行扫描的步骤可以表述为：X射线激发出样品表面的特征被送到半导体检测器中，经过处理后输出幅度与X射线能量成正比的电脉冲信号；该信号经过放大器的调整后输出对应的电压信号；该信号被送入到脉冲处理器，进行降噪后将信号转换为计数并在对应通道内累加计数，最后将信号输出并通过专业软件进行处理，在显示器上形成能谱图，然后根据能谱图进行处理，从而达到定性分析的目的。

 

扫描电子显微镜结合X射线能谱仪的使用方法也能对材料的成分进行分析，这种分析方法简称为SEM-EDS分析技术，科学指南针可以提供相关检测。

 

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