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保证分辨率 3.0nm(30kV)
8.0nm(3kV)
15nm(1kV)
放大倍数 5至300,000x
加速电压 0.5kV至30kV
电子枪 工厂预对中灯丝
聚光镜 变焦聚光镜
物镜 锥形物镜
样品台 全对中样品台
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋转 360°
倾斜 -10°至+90°
排气系统
(高真空模式) DPx1,RPx1
排气系统
(低真空模式) DPx1,RPx2
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