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技术参数
1. 分辨率
高真空模式 1.0nm @ 15kV
1.8nm @ 1kV
0.8nm @ 30kV(STEM探测器)
低真空模式 1.5nm @ 10kV(Helix探测器)
1.8nm @ 3kV(Helix探测器)
2. 加速电压 200V - 30kV,连续可调
3. 电子束流范围 0.3pA - 100nA, 连续可调
4. 样品台移动范围
Nova NanoSEM 230: X=Y=50mm
Nova NanoSEM 430: X=Y=100mm
Nova NanoSEM 630: X=Y=150mm
主要特点
1. 超高分辨率Schottky场发射电子枪
2. 全球唯一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜. 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式.
3. 对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析
4. 完全无油真空系统
5. 可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能
6. FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面
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