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一、核心技术规格及参数：
SEM:
1.SuperATW 超薄窗口，10mm2 活区；
2.在MnKα 处的分辨率：优于133eV；
3.自动液氮水平监视器以及报警系统；
4.分析元素范围：Be4-U92； 5.专利的探测器自动优化装置，除污染技术确保轻元素性能长期优良； 6.高性能，低噪声，专利的 FET 场效应管 x-sight 电荷复位技术。
EBSD+EDS：
1.可伸缩调节工作距离的高灵敏度磷光体荧光屏；
2.Peltier冷却的高灵敏度数字化CCD照相机；
3.Vanguard前散射电子探测器；
4.IEEE1394型高速接口及传输线，与系统计算机之间进行通讯；
5.先进数字扫描系统和显微分析处理硬件；
6.系统计算机和INCA Crystal应用软件包。
二、仪器典型应用领域
显微分析领域最具活力和前景的亚微米级显微分析技术手段,它作为扫描电镜上的一个附件，集显微结构,显微织构，相鉴定等多种功能于一身，开辟了一个全新的科学领域。主要应用于：大专院校和研究机构中的材料科学和冶金学研究、半导体行业的研究和制造、钢铁制造和处理、铝制品的生产和处理、陶瓷业、电子业、汽车行业、太空技术和国防行业、能源业、核技术。
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